[发明专利]一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法

摘要

本发明的一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法，对切片后的蓝宝石衬底片根据Warp值先进行分选，其中Warp<16μm的衬底片直接进行直排式碳化硼双面研磨；16μm≤Warp<25μm的衬底片进行1400°C高温退火12H后，再进行直排式碳化硼双面研磨；25μm≤Warp<35μm的衬底片进行1400°C高温退火12H后，再进行循环式碳化硼双面研磨，这样分类管理方法可以有效避免直接选用循环式碳化硼双面研磨效率下降较快，后期研磨时长明显增加，研磨成本增加的问题，也有效避免采用直排式碳化硼双面研磨时warp值≥25μm的衬底片在研磨后warp值偏大，导致二次返工甚至报废的问题，提高良品率且节约成本。

主权项

1.一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法，其特征在于，包括以下技术步骤：（1） 将切片后已经清洗干净的4英寸蓝宝石衬底放入干净的晶舟盒内，再将晶舟盒放入分选机待分选卡位上，所述晶舟盒为6盒，所述每盒晶舟盒内的蓝宝石衬底片为25片；（2） 设置分选机的分选Warp值为以下三个范围：Warp<16μm，16μm≤Warp<25μm，25μm≤Warp<35μm；（3）设置分选机测量轨迹为“米”字形；（4）启动分选机，开始自动分选直至自动分选完成；（5）将分选后的4英寸蓝宝石衬底片的Warp值在Warp<16μm范围内的衬底直接进行直排式碳化硼双面研磨；（6）将分选后的4英寸蓝宝石衬底片的Warp值在16μm≤Warp值<25μm范围内的衬底进行1400℃高温退火12H后，再进行直排式碳化硼双面研磨；（7）将分选后的4英寸蓝宝石衬底片的Warp值在25μm≤Warp<35μm范围内的衬底进行1400℃高温退火12h后，再进行循环式碳化硼双面研磨。