[发明专利]用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶测温系统及应用

摘要

本发明公开了一种用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶，包括片状高温陶瓷基体、薄膜热电极、薄膜绝缘层及引线，采用等离子体溅射在陶瓷基体上制备薄膜热电极，薄膜热电极之间设置热接点，即为测量端；热电极上覆盖薄膜绝缘层。本发明的片状薄膜热电偶可用于1000℃以上环境的特殊构型物件表面温度测量。

主权项

用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶，包括热电偶整体结构及绝缘保护层结构，其中，热电偶整体结构包括陶瓷基体，在陶瓷基体上并列镀覆铂铑30薄膜热电极和铂铑6薄膜热电极，两个热电极一侧通过热结点电连接，并列的铂铑30薄膜热电极和铂铑6薄膜热电极另一侧分别对应通过铂铑30焊盘、铂铑6焊盘焊接铂铑30引出导线和铂铑6引出导线，其中，通过等离子体溅射方式将铂铑30薄膜热电极、铂铑6薄膜热电极镀在陶瓷基体上，绝缘保护层采用导热系数相对较高的A1203材料，在陶瓷基体上完成薄膜热电极镀膜后，将A1203采用镀膜的形式镀在有薄膜热电极的陶瓷基体表面。