[发明专利]碳晶板用烘箱

摘要

本发明公开了一种碳晶板用烘箱，碳晶板用烘箱包括：箱体；旋转托架，旋转托架包括旋转轴、托架、隔热托架及隔热板，旋转托架通过旋转轴及凹槽设置于箱体内，托架及隔热托架设置在旋转轴上，隔热板设置在托架及隔热托架上，旋转托架能够以旋转轴为轴心转动；托盘，托盘为多个，分别通过多个托架横梁及多个隔热托架横梁设置于旋转托架上承载抽屉，承载抽屉包括承载抽屉壳体及多个抽拉板，多个抽拉板滑设于承载抽屉壳体，多个抽拉板能够抽出或伸入承载抽屉壳体，承载抽屉用于放置在托盘上。本发明的碳晶板用烘箱碳晶板烘干与冷却可在一个箱体内进行，避免了碳晶板骤冷开裂的问题。

主权项

1.一种碳晶板用烘箱，所述碳晶板用烘箱包括：箱体，所述箱体包括钢结构框架层及陶瓷隔热层，所述陶瓷隔热层设置在所述钢结构框架层内部，所述钢结构框架层由白钢材料制成，所述箱体顶部及底部中心点处设置有凹槽；旋转托架，所述旋转托架包括旋转轴、托架、隔热托架及隔热板，所述旋转托架通过所述旋转轴及所述凹槽设置于所述箱体内，所述托架及所述隔热托架设置在所述旋转轴上，所述隔热板设置在所述托架及所述隔热托架上，所述旋转托架能够以所述旋转轴为轴心转动；其中，所述托架的长度小于所述箱体的宽度，所述托架包括多个托架横梁及托架边框，所述多个托架横梁设置在所述旋转轴上，所述托架边框连接于所述多个托架横梁；其中，所述隔热托架的长度与所述箱体的宽度一致，所述隔热托架包括多个隔热托架横梁及隔热托架边框，所述多个隔热托架设置在所述旋转轴上，所述隔热托架边框通过所述多个隔热托架设置在所述旋转轴上；托盘，所述托盘为多个，分别通过所述多个托架横梁及所述多个隔热托架横梁设置于所述旋转托架上；承载抽屉，所述承载抽屉包括承载抽屉壳体及多个抽拉板，所述多个抽拉板滑设于所述承载抽屉壳体，所述多个抽拉板能够抽出或伸入所述承载抽屉壳体，所述承载抽屉用于放置在所述托盘上；供热单元，所述供热单元设置于所述箱体的一侧。