[发明专利]一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法在审
| 申请号： | 201710447079.6 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107121894A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 | 申请（专利权）人： | 福建中科晶创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/18 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人： | 罗立君 |
| 地址： | 350100 福建省福州市闽侯县上街镇科技东路中*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法，该装置包括激光器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第一透光板、第二透光板和角度规；激光器发出紫外光，分束镜将激光器发出的紫外光分为第一光束和第二光束；第一反射镜反射第一光束穿过第一透光板，第二反射镜反射第二光束穿过第二透光板，第一光束和第二光束最终汇聚于一点；第一反射镜、第二反射镜、第一透光板和第二透光板的位置可调；角度规包括角度规反射镜、精密电动转台和调整架，角度规反射镜反射第一光束至第一透光板上，角度规反射镜反射第二光束至第二透光板上，精密电动转台调整角度规反射镜在水平面上的角度，调整架调整精密电动转台和角度规反射镜二者整体的空间位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 干涉 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光束干涉角调整装置，包括激光器(1)、分束镜(2)、第一反射镜(3)和第二反射镜(4)，激光器(1)发出紫外光，分束镜(2)将激光器(1)发出的紫外光分为第一光束和第二光束，其特征在于：还包括第一透光板(5)、第二透光板(6)和角度规(7)；第一反射镜(3)反射第一光束穿过第一透光板(5)，第二反射镜(4)反射第二光束穿过第二透光板(6)，第一光束和第二光束最终汇聚于一点；第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第一透光板(5)和第二透光板(6)的位置可调；角度规(7)包括角度规反射镜(71)、精密电动转台(72)和调整架(73)，角度规反射镜(71)反射第一光束至第一透光板(5)上，角度规反射镜(71)反射第二光束至第二透光板(6)上，精密电动转台(72)固定连接在角度规反射镜(71)的下方并调整角度规反射镜(71)在水平面上的角度，调整架(73)连接在精密电动转台(72)的下方并调整精密电动转台(72)和角度规反射镜(71)二者整体的空间位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建中科晶创光电科技有限公司，未经福建中科晶创光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710447079.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
