[发明专利]一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置

摘要

本发明公开了一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置，包括真空窗、真空腔、真空计、泄压角阀、插板阀、分子泵；所述真空窗位于真空腔一端部；所述插板阀位于真空腔另一端部；所述真空腔中间的管道上设有真空计、泄压角阀以及机械泵接口；所述分子泵安装在插板阀上；所述机械泵接口与机械泵连接。本发明利用机械泵和分子泵来提供输运线管路中的真空环境，用于测试加速器输运线真空窗和窗膜厚度能否满足使用要求，以确保加速器输运线真空窗设计合理和窗膜厚度选择可靠。

主权项

一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置，其特征在于，包括真空窗(3)、真空腔(4)、真空计(8)、泄压角阀(6)、插板阀(9)、分子泵(10)；所述真空窗(3)位于真空腔(4)一端部；所述插板阀(9)位于真空腔(4)另一端部；所述真空腔(4)中间的管道上设有真空计(8)、泄压角阀(6)以及机械泵接口；所述分子泵(10)安装在插板阀(9)上；所述机械泵接口与机械泵连接；所述泄压角阀(6)位于真空腔(4)中部小法兰水平位置；所述真空计(8)位于真空腔(4)中部小法兰竖直位置；泄压角阀(6)与真空计(8)均通过卡箍一(7)和内密封圈二(12)固定在真空腔(4)上；所述插板阀(9)位于真空腔(4)的CF法兰端，通过CF铜垫密封圈(11)和螺钉固定在真空腔(4)上；所述分子泵(10)紧贴着插板阀(9)，且位于插板阀(9)的上方，通过CF铜垫密封圈(11)和螺钉固定在插板阀(9)上；所述真空腔(4)中部小法兰水平位置处设有盲板法兰(14)，盲板法兰(14)通过卡箍一(7)和内密封圈二(12)固定在真空腔(4)上；所述盲板法兰(14)处为机械泵接口，使用真空波纹管将此接口与机械泵连接，并通过内密封圈三(13)和卡箍二(15)固定；该真空密封膜测试装置的测试步骤如下：(1)机械泵和分子泵处于初始停机状态，点击机械泵启动按钮，待机械泵进入工作状态，真空腔真空环境达到设定值；(2)点击分子泵启动按钮，待分子泵进入工作状态时，点击机械泵停止按钮；(3)分子泵稳定工作，真空计监测真空窗内窗膜的变化情况；如若真空窗窗膜破损，则真空腔内真空跌落，真空计检测并反馈到插板阀，使插板阀关闭分子泵与真空腔之间连接，同时分子泵停止工作；如若真空窗正常，则分子泵持续工作，查看真空窗窗膜的稳定工作极限时间。