[发明专利]掩模框架组件及其制造方法有效
| 申请号： | 201710449767.6 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107523786B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 金相勳 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种掩模框架组件及其制造方法，掩模框架组件包括框架、掩模和分区杆体，其中，掩模联接至框架并且包括用于沉积的图案区域，分区杆体联接至框架并被配置为将掩模的图案区域划分为单位单元图案。分区杆体包括：一对相对的固定端部，其固定至框架的侧边；以及窄宽度部分，其连接一对固定端部并且包括分别从固定端部的在宽度方向上的两个边缘向内凹进的第一分区部分和第二分区部分。 | ||
| 搜索关键词： | 框架 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模框架组件，包括：框架；掩模，联接至所述框架并且包括用于沉积的图案区域；以及分区杆体，联接至所述框架并且被配置为将所述掩模的所述图案区域划分为单位单元图案，其中所述分区杆体包括：一对相对的固定端部，固定至所述框架的侧边；以及窄宽度部分，连接一对所述固定端部并且包括分别从所述固定端部的在宽度方向上的两个边缘向内凹进的第一分区部分和第二分区部分。
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