[发明专利]体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710454610.2 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107733392B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李文喆;李在昌;林昶贤;李泰勋;李泰京;金泰润 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/54;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 钱海洋;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：基板；腔体形成层，设置在所述基板上，以形成腔体；下电极，设置在所述腔体上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上；及温度补偿层，设置在所述下电极的下面并且设置在所述腔体中。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波滤波器装置，包括：基板；腔体形成层，设置在所述基板上，以形成腔体；下电极，设置在所述腔体上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上；及温度补偿层，设置在所述下电极的下面并且设置在所述腔体中。
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