[发明专利]阻抗匹配装置和阻抗匹配方法有效
| 申请号： | 201710454753.3 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109148250B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 杨京;韦刚;卫晶 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了针对等离子产生的阻抗匹配装置和阻抗匹配方法。根据实施例，阻抗匹配装置可以耦接在等离子体产生设备中射频源以及与射频源连接的负载之间，用于匹配阻抗。阻抗匹配装置包括：匹配阻抗网络；电机，用于驱动匹配阻抗网络以提供一定的阻抗；以及控制器，响应于接收到的射频源的工作模式信息，选择性地发出第一指令或第二指令，其中第一指令指示电机驱动阻抗匹配网络，第二指令指示电机停止驱动以及射频源进行扫频操作。根据本公开的实施例，可以有效避免阻抗匹配过程中由于阻抗变化过快导致的匹配不稳定和不重复的现象，可以实现较大的工艺窗口和工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配装置，用于匹配等离子体产生设备中射频源以及与射频源连接的负载之间的阻抗，所述阻抗匹配装置包括：匹配阻抗网络；电机，用于驱动匹配阻抗网络以提供一定的阻抗；以及控制器，响应于接收到的射频源的工作模式信息，选择性地发出第一指令或第二指令，其中第一指令指示电机驱动阻抗匹配网络，第二指令指示电机停止驱动以及射频源进行扫频操作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710454753.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于晶圆生产离子注入的控制装置
- 下一篇：反应腔室的下电极机构及反应腔室
