[发明专利]二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法

摘要

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件；两个Y向柔性导向件；两个X向柔性解耦件；两个Y向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器；X向光栅传感器；Y向光栅传感器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有精度高、成本低和安装使用方便等优点。

主权项

一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连；X向光栅传感器，所述X向光栅传感器分别与所述终端平台和所述X向柔性导向件可拆卸地相连且至少一部分随所述X向柔性导向件一同移动；Y向光栅传感器，所述Y向光栅传感器分别与所述终端平台和所述Y向柔性导向件可拆卸地相连且至少一部分随所述Y向柔性导向件一同移动。