[发明专利]垫移除装置在审
申请号: | 201710455853.8 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN108723987A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 陈俊宏;王生城 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 垫移除装置,包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器,以及与致动器耦合的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动,且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量,该量是视第一端和第二端之间的距离而定。 | ||
搜索关键词: | 第一端 致动器 控制组件 移除装置 引导件 方向延伸 耦合的 配置 垂直 移动 | ||
【主权项】:
1.一种垫移除装置,其特征在于,包含:一垫引导件,具有沿一第一方向的一第一端和一第二端;一致动器,附于该第一端;以及一控制组件,耦合该致动器,该控制组件是配置以使该致动器沿该第一方向从该第一端朝向该第二端移动,其中该垫引导件是配置以于垂直该第一方向的一第二方向延伸一量,该量是视该第一端和该第二端之间的一距离而定。
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