[发明专利]线圈组件、等离子体发生装置及等离子体设备有效
| 申请号： | 201710457176.3 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN109148073B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 李兴存;赵晓丽;王建龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01F5/02 | 分类号： | H01F5/02;H01F38/14;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 兰天爵 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种线圈组件，其中，所述线圈组件包括多组感应线圈，多组所述感应线圈的输入端电连接，且多组所述感应线圈的输出端沿所述线圈组件周向均匀分布。本发明还提供一种等离子体发生装置和一种等离子体设备。所述感应线圈能够在工艺腔中形成均匀的等离子体，并且所述感应耦合等离子体发生装置中容性耦合小，便于精确调节。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 组件 等离子体 发生 装置 设备 | ||
【主权项】：
1.一种线圈组件，其特征在于，所述线圈组件包括多组感应线圈，多组所述感应线圈的输入端电连接，且多组所述感应线圈的输出端沿所述线圈组件周向均匀分布。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710457176.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：长条状铁基纳米晶合金软磁铁芯
- 下一篇：一种圆柱形子电缆搭接超导接头
