[发明专利]一种异质结太阳能电池电极的制作方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池电极的制作方法，包括提供正、背面已沉积铜种子层的硅片；在所述硅片的正、背面沉积牺牲层；在所述硅片正、背面的牺牲层上形成光阻层；通过曝光和显影在硅片正、背面的牺牲层上形成栅线图案；通过酸性溶液预处理，去除硅片正、背面的栅线图案区域的牺牲层；在硅片正、背面的栅线图案上电镀铜，形成铜栅线电极；通过碱性溶液，去除硅片正、背面的光阻层和牺牲层；通过金属蚀刻溶液，去除硅片正、背面的铜栅线区域外的铜种子层。本发明通过在铜种子层上增加一层牺牲层，对铜种子层起到了很好的保护效果，避免铜种子层在电镀前被氧化或被污染。

主权项

1.一种异质结太阳能电池电极的制作方法，其特征在于，包括：提供正、背面已沉积铜种子层的硅片；在所述硅片的正、背面沉积牺牲层；在所述硅片正、背面的牺牲层上形成光阻层；通过曝光和显影在硅片正、背面的牺牲层上形成栅线图案；通过酸性溶液预处理，去除硅片正、背面的栅线图案区域的牺牲层；在硅片正、背面的栅线图案上电镀铜，形成铜栅线电极；通过碱性溶液，去除硅片正、背面的的光阻层和牺牲层；通过金属蚀刻溶液，去除硅片正、背面的铜栅线区域外的铜种子层。