[发明专利]具有改进配置的MEMS三轴加速度计

摘要

本发明涉及具有改进配置的MEMS三轴加速度计。一种MEMS三轴加速度计设置有感测结构，感应结构具有：单个惯性质量块，惯性质量块具有在由第一和第二水平轴线限定的水平平面中的主延伸部并且在内部限定了第一窗口，第一窗口沿着与水平平面正交的垂直轴线而横贯惯性质量块的整个厚度；以及悬挂结构，悬挂结构被安排在窗口内以用于将惯性质量块弹性地联接至单个锚固元件，锚固元件相对于衬底被固定并且被安排在窗口内，使得惯性质量块悬挂在衬底上方并且能够通过惯性作用执行在检测到对应的加速度分量之后在与第一、第二和第三水平轴线平行的对应感测方向上的第一、第二和第三感测移动。

主权项

1.一种MEMS三轴加速度计(32)，设置有感应结构(1)，所述感应结构包括：单个惯性质量块(2)，所述惯性质量块具有在由第一水平轴线(x)和第二水平轴线(y)限定的水平平面(xy)中的主延伸部，并且在内部限定了第一窗口(4)，所述第一窗口沿着与所述水平平面(xy)正交的垂直轴线(z)而横贯所述单个惯性质量块的整个厚度；以及悬挂结构(29)，所述悬挂结构被安排在所述第一窗口(4)内并且被配置成用于将所述惯性质量块(2)弹性地联接至单个锚固元件(8)，所述悬挂结构相对于衬底(3)被固定并且被安排在所述窗口(4)内，从而使得所述惯性质量块(2)悬挂在所述衬底(3)上方并且能够通过惯性作用执行以下各项：在检测到第一加速度分量(ax)之后在与所述第一水平轴线(x)平行的第一感测方向(x)上的第一感测移动；在检测到第二加速度分量(ay)之后沿着与所述第二水平轴线(y)平行的第二感测方向(y)的第二感测移动；以及在检测到第三加速度分量(az)之后沿着与所述垂直轴线(z)平行的第三感测方向(z)的第三感测移动，其特征在于，所述悬挂结构(29)包括至少一个第一解除联接元件(6)，所述第一解除联接元件被配置成用于将所述第一、第二、和第三感测移动中的至少一项与所述惯性质量块(2)的其余感测移动解除联接。