[发明专利]一种激光诱导石墨烯微纳结构的加工方法及其系统有效
| 申请号： | 201710461601.6 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107244669B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张心正;许京军;石彬;徐晓丹;刘洋;任梦昕;蔡卫;吴强;伊瑞娜 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光诱导石墨烯微纳结构的加工方法及其系统，本方法首先制备氧化物‑石墨烯‑基底材料三明治结构样品；其次，样品通过激光直写系统进行加工；超过阈值光强的区域内石墨烯在激光诱导下和氧化物发生碳热还原反应而被破坏，其他部分的石墨烯则不会被破坏得以保留，从而形成石墨烯微纳结构。本发明方法及系统操作简单，不需要借助掩模板进行曝光，避免了离子束加工中二次溅射的问题，能实现高精度的石墨烯结构及图案的加工，加工分辨率可通过激光光斑大小和激光能量调控，有利于复杂结构石墨烯图案的快速加工及高质量石墨烯结构器件的制备，可广泛的推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 诱导 石墨 烯微纳 结构 加工 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
一种基于激光诱导石墨烯微纳结构的加工方法，其特征在于，其包括以下步骤：步骤1、准备石墨烯微纳结构加工需要的基底材料；步骤2、将石墨烯转移到基底材料上；步骤3、蒸镀氧化物，获得氧化物‑石墨烯‑基底材料三明治结构样品；步骤4、通过激光直写系统对氧化物‑石墨烯‑基底材料三明治结构样品进行加工，超过阈值光强的区域内石墨烯在激光诱导下和氧化物发生碳热还原反应而被破坏，其余部分的石墨烯则不会被破坏得以保留；步骤5、对加工后样品进行后处理，去除残余氧化物，得到石墨烯微纳结构。
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