[发明专利]一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法在审
| 申请号： | 201710462160.1 | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN107287570A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 白航空 | 申请（专利权）人： | 合肥市惠科精密模具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/02;C03C17/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新站区九*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，包括以下步骤(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15‑25min；(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10‑3Pa；(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑2数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为90‑300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30‑90min；(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑1数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为50‑200W，基板温度为室温，溅射时间为30‑60min；溅射后最终制得透明导电氧化物复合薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 amoled 导电 氧化物 复合 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15‑25min；(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10‑3Pa；(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑2数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为90‑300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30‑90min；(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑1数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为50‑200W，基板温度为室温，溅射时间为30‑60min；溅射后最终制得透明导电氧化物复合薄膜。
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