[发明专利]气体混合装置和基板处理装置

摘要

本发明提供一种在对多种气体进行混合时使气体均匀地混合的气体混合装置和基板处理装置。在上表面被封闭的圆筒部的底面中央部设置有气体流出路，沿着气体流出路的开口缘以隔着间隔的方式配置相对于圆筒部的中心呈旋转对称的多个气体流导向壁。另外，使气体流导向壁的周向的一个端部向靠圆筒部的中心部的位置屈曲。而且，在气体流导向壁与圆筒部的内周面之间的靠气体流导向壁周向的另一侧的位置处连接有第一气体流入管～第三气体流入管。从第一气体流入管～第三气体流入管供给的气体成为沿气体流导向壁的外周面流动后沿处于周向的一侧的气体流导向壁的内周面流动的涡流，来在气体流出路中被混合。

主权项

1.一种气体混合装置，用于对多种气体进行混合，该气体混合装置的特征在于，具备：圆筒部，其上表面被封闭；气体流出路径，其在所述圆筒部的底面的中央部开口并向下方延伸；多个气体流导向壁，该多个气体流导向壁沿着所述气体流出路径中的靠所述底面的开口缘以在周向上彼此隔着间隔的方式配置并且设置为相对于所述圆筒部的中心呈旋转对称，并朝向所述上表面突出；以及气体流入部，其设置在所述气体流导向壁与圆筒部的内周面之间，供要进行混合的气体流入，其中，在所述圆筒部的周向上以顺时针和逆时针中的一方观察时，当将朝向该一方的方向的一侧定义为前方时，所述气体流导向壁随着趋向前方侧而向靠所述圆筒部的中心部的位置屈曲，使得将流入到圆筒部的内周面与气体流导向壁之间的气体沿着该气体流导向壁的外周面导向到所述气体流出路径，由此形成涡流。