[发明专利]工艺腔室气体检测系统及其操作方法在审
| 申请号： | 201710468217.9 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109097755A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 程志伟;陈佩瑜 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 郭晓宇;汤在彦 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺腔室气体检测系统及其操作方法，该检测系统包括一腔体、一抽气单元、一抽气管、一连接管以及一气体检测器。前述腔体配置于执行化学气相沉积工艺，抽气管连接腔体与抽气单元，连接管连通抽气管，气体检测器则设置于该连接管上，并用以检测来自该腔体内的气体中的氧气含量。本发明的工艺腔室气体检测系统可通过气体检测器检查腔体是否有微小外漏，因而可及时停止CVD工艺与作适当处理以避免过多不良的生成品产生，进而提升工艺品质。 | ||
| 搜索关键词： | 气体检测系统 气体检测器 工艺腔室 抽气管 抽气单元 连接管 化学气相沉积 工艺品质 检测系统 连接腔体 检查腔 腔体 外漏 连通 氧气 接管 体内 并用 检测 配置 | ||
【主权项】：
1.一种工艺腔室气体检测系统，其特征在于，包括：一腔体，配置用于执行化学气相沉积工艺；一抽气单元；一抽气管，连接该腔体与该抽气单元；一连接管，连通该抽气管；以及一气体检测器，设置于该连接管上，当该抽气单元将来自该腔体内的一气体经过该抽气管与该连接管而抽取时，该气体检测器检测该气体中的氧气含量。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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