[发明专利]电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置

摘要

本发明公开了一种以电推力器为动力的航天器系统级点火试验中降低电推力器羽流溅射污染的溅射靶装置，该结构由溅射主靶和屏蔽罩两部分构成，主靶正对推力器喷口，其材料为低溅射率材料石墨，主靶背面为管路系统，与主靶紧密接触，可通冷却液对主靶进行冷却，也可通热水加热，屏蔽罩坐于主靶之上，对溅射产物粒子进行导流与捕获，减少其逸出概率，降低溅射污染，同时要兼顾真空度要求；屏蔽罩表面材料采用与主靶相同的材料，以保证对溅射产物粒子有较好的亲合力，利于溅射产物的捕获。本发明适合于以电推力器为动力的系统级航天器点火试验，作为其羽流溅射防护手段。

主权项

电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，包括主靶和屏蔽罩两部分，其中，屏蔽罩顶部设置有开口用于接收羽流粒子，与开口相对的屏蔽罩底部上设置有主靶，主靶由低溅射率材料制成，屏蔽罩具有多层导流结构，溅射粒子穿过它时发生多次碰撞，增大其在壁面的吸附概率，未被吸附的粒子被导流结构导向容器内非敏感表面。