[发明专利]太阳能电池的检测方法与检测系统在审
| 申请号： | 201710475420.9 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109103118A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡政廷;杨兰昇 | 申请（专利权）人： | 致茂电子(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种太阳能电池的检测方法与检测系统。太阳能电池的检测方法用以检测太阳能电池的立体图案剥离状态。检测方法包含斜向照射光束至太阳能电池的立体图案。正向撷取太阳能电池的影像。根据影像中的立体图案的阴影，判断立体图案是否剥离。因检测方法与检测系统以检测立体图案的阴影(例如是否有阴影、阴影的形状与/或阴影的宽度)判断立体图案是否剥离，因此可在短时间内针对多个立体图案进行快速又准确的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 立体图案 太阳能电池 检测 阴影 检测系统 影像 剥离 剥离状态 照射光束 斜向 正向 撷取 分析 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池的检测方法，用以检测一太阳能电池的一立体图案的剥离状态，其特征在于，该检测方法包含：斜向照射一光束至该太阳能电池的该立体图案；正向撷取该太阳能电池的影像；以及根据该影像中的该立体图案的阴影，判断该立体图案是否剥离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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