[发明专利]一种四分区相位步进反射镜及制作方法有效
申请号: | 201710482618.X | 申请日: | 2017-06-22 |
公开(公告)号: | CN107272096B | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 张淳民;颜廷昱;李祺伟 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 刘强 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种四分区相位步进反射镜及制作方法,其采用反向膜系设计方法,在玻璃基底的后表面镀膜,在玻璃基底的前表面实现四分区反射相位步进功能,从而解决了现有方案四分区膜层表面高低不平的问题,并且具有高反射率、高相位步进精度等优点,能够很好地应用于静态风成像干涉仪,进行大气遥感探测。 | ||
搜索关键词: | 一种 分区 相位 步进 反射 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种四分区相位步进反射镜,其特征在于,包含后表面平整的玻璃基底(21),在玻璃基底(21)的后表面镀有复合膜层(22),所述玻璃基底(21)划分为A、B、C、D四个面积相等的区域;所述复合膜层(22)共9层,第1层为步进相位调制层,第2层到第7层为增反射层,第8层为反射层,第9层为保护层。
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