[发明专利]一种用于调整光学元件位姿的装置及调整方法在审
| 申请号： | 201710484137.2 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109116682A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 郭抗;陈华男;倪明阳;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于光学元件位姿调整的装置，包括：支撑镜框，用于支撑光学元件；外镜筒；环带，所述环带的内侧边缘与所述支撑镜框的外侧边缘相连，所述环带的外侧边缘与所述外镜筒的内侧边缘相连；微位移传感器，所述微位移传感器设置在所述外镜筒的内侧壁上；微位移驱动器，所述微位移驱动器设置在所述外镜筒的内侧壁上。本发明还提供了一种调整光学元件位姿的方法。环带结构的光学元件位姿调节装置在保证光学元件纳米级调节精度的同时，装置的制造容易。 | ||
| 搜索关键词： | 光学元件 外镜筒 环带 微位移传感器 微位移驱动器 内侧边缘 外侧边缘 内侧壁 镜框 位姿 支撑 位姿调节装置 环带结构 位姿调整 纳米级 制造 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，包括：支撑镜框，用于支撑光学元件；外镜筒；环带，所述环带的内侧边缘与所述支撑镜框的外侧边缘相连，所述环带的外侧边缘与所述外镜筒的内侧边缘相连；微位移传感器，所述微位移传感器设置在所述外镜筒的内侧壁上；微位移驱动器，所述微位移驱动器设置在所述外镜筒的内侧壁上。
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