[发明专利]一种装卸片系统

摘要

本发明提供了一种装卸片系统，包括机架，机架中部设置有安装板，安装板与一能带动其上下移动的升降机构相连，安装板上固定有能使石英舟倾斜放置的放置板，机架上部依次设置有供料装置和取放装置。本发明具有操作方便的优点。

主权项

1.一种装卸片系统，包括机架，其特征在于，机架中部设置有安装板，安装板与一能带动其上下移动的升降机构相连，安装板上固定有能使石英舟倾斜放置的放置板，机架上部依次设置有供料装置和取放装置；所述供料装置包括安装架、转动轴和转盘，安装架固定在机架上部，转动轴水平设置在安装架上，转动轴一端与一能带动其转动的动力机构相连，转动轴另一端和转盘相连，转盘上固定有若干定位板，定位板上通过可拆卸结构设置有用于储存硅片的储料件，储料件包括基板、左侧板和右侧板，左侧板固定在基板上，右侧板通过连杆固定在左侧板上，左侧板与右侧板之间水平设置有若干转轴，转轴一端和左侧板上部相连，转轴另一端和右侧板上部相连，转轴中部和分隔片上部相连，分隔片下部为活动端，相邻两活动端之间通过弹性的连接条相连，相邻两分隔片之间形成用于储存硅片的储存部；基板上设置有能使活动端展开的驱动结构，驱动结构包括第一气囊、第二气囊、输气管和第一气泵，第一气囊固定在分隔片上端，且分隔片上端的两侧均分布有第一气囊，第二气囊固定在分隔片下端，且分隔片下端的两侧均分布有第二气囊，第一气囊的容积小于第二气囊的容积，第一气囊和第二气囊均能与硅片相接触，输气管一端和第一气囊相连通，输气管另一端和第二气囊相连通，输气管中部通过连管和第一气泵相连通；基板上还设有限位结构，限位结构包括安装块、驱动电机、连接绳、弹簧和限位板，安装块固定在基板下部，弹簧一端和安装块相连，弹簧另一端和限位板相连，且限位板能与最外侧的分隔片相抵靠，驱动电机固定在安装块上，驱动电机的输出轴水平设置，连接绳一端和驱动电机的输出轴端部相连，连接绳另一端和限位板相连；所述安装架上还设置推送机构，推送机构包括推杆电机和推块，推杆电机固定在安装架上，推杆电机的推杆倾斜向下，推块固定在推杆电机的推杆端部，推块能伸入到储存部中；所述动力机构包括步进电机和减速器，步进电机固定在安装架上，步进电机的输出轴水平设置，步进电机的输出轴和减速器的输入端相连，减速器的输出端和转动轴一端相连。