[发明专利]喷嘴模块、光刻装置及其操作方法有效
| 申请号： | 201710487653.0 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109116683B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 吴尚颖;赖韦志;简上杰;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 模块 光刻 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴模块，包括：一喷嘴，其中该喷嘴具有一腔体及一液体输出口；一毛细管，其中该毛细管连接该液体输出口而与该腔体连通；一压电元件，其中该压电元件夹持该毛细管；以及一频率产生元件，其中该频率产生元件设置于该腔体的一外表面，用以对该腔体提供一振荡频率。
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