[发明专利]多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂及其制备方法

摘要

本发明涉及粘结剂技术领域，具体公开一种多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂及其制备方法。所述多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，包括质量百分比如下的原料组分：水溶性聚合物10%‑20%；水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物1%‑10%；硅酸酯水解液10%‑20%；增塑剂3%‑10%；消泡剂0.05%‑0.3%；pH缓冲液0.01%‑0.05%；杀菌剂0.03%‑0.3%；高纯水55%‑75%。本发明所提供的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，纯度高，应用于氮化硅涂层免烧结工艺，使该工艺具有周期短，能耗低，降低了硅锭的粘埚率，降低了硅锭的氧含量的特点。

主权项

1.一种多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，其特征在于：包括质量百分比如下的原料组分：所述粘结剂采用以下方法制备：(1)将水溶性聚合物、水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物、硅酸酯水解液、增塑剂、消泡剂、杀菌剂加入到高纯水中，进行混料处理，得第一混合物料，水溶性聚合物为聚乙二醇、纤维素醚中的至少一种，水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物为硅氧烷改性聚乙烯醇、硅氧烷改性聚乙烯吡咯烷酮、羧基改性聚乙烯醇中至少一种；(2)在30℃‑80℃下，所述第一混合物料过交换树脂，除去金属离子，得第二混合物料；(3)将pH缓冲液加入到所述第二混合物料，进行混料处理，调节pH至3‑6，得到多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂。