[发明专利]一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉在审

专利信息
申请号: 201710488874.X 申请日: 2017-06-23
公开(公告)号: CN109112624A 公开(公告)日: 2019-01-01
发明(设计)人: 余刚;丁一;王剑;姚玖洪 申请(专利权)人: 镇江仁德新能源科技有限公司
主分类号: C30B28/14 分类号: C30B28/14;C30B29/06
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 李帅
地址: 212200 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉,包括炉体内筒、炉体外筒,和设置于所述炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的螺旋状导流板;所述炉体外筒底部设置有第一冷却水进口,能够将冷却水导入炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中,并沿螺旋状导流板螺旋上升流动;所述炉体外筒顶部设置有第一冷却水出口,能够将炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的冷却水导出。既能维持炉内温度,又保证炉体的加压水导流冷却,和双层玻璃视镜的局部水冷。
搜索关键词: 炉体外筒 炉体内筒 夹层空腔 螺旋状导流板 多晶硅片 太阳能级 多晶炉 冷却水 双层玻璃视镜 冷却水出口 冷却水进口 导流冷却 顶部设置 螺旋上升 加压水 导出 炉内 炉体 水冷 生产 流动 保证
【主权项】:
1.一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉,其特征在于:包括炉体内筒(2)、炉体外筒(3),和设置于所述炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中的螺旋状导流板(4);所述炉体外筒(3)底部设置有第一冷却水进口(6),能够将冷却水导入炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中,并沿螺旋状导流板(4)螺旋上升流动;所述炉体外筒(3)顶部设置有第一冷却水出口(1),能够将炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中的冷却水导出。
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