[发明专利]一种自供能气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710492171.4 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107132248B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 杨亚杰;何鑫;毛喜玲;周榆久;杨文耀;赵月涛;徐建华;太惠玲 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;H01L37/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自供能传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。本发明结构其结构由下至上依次包括层叠的多孔基片、第一银纳米线薄膜、P型多孔导电聚合物、多孔热释电薄膜、N型多孔导电聚合物和第二银纳米线薄膜。本发明自供能传感器采用多孔热释电薄膜材料同时作为敏感单元和能量采集单元，避免了制备不同功能薄膜时各功能薄膜之间所存在的成膜工艺不匹配、成膜不均匀和相容性不好的问题；本发明器件结构设计合理，能够协同实现能量采集与产生气敏信号，使得器件结构高度集成且提高了气敏单元的灵敏度；此外，本发明制备工艺简单可控、成本低廉，在柔性电子器件具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 银纳米线薄膜 自供能传感器 多孔导电 功能薄膜 聚合物 传感器技术领域 热释电薄膜材料 发明制备工艺 能量采集单元 柔性电子器件 气体传感器 热释电薄膜 成膜工艺 多孔基片 发明器件 高度集成 敏感单元 能量采集 器件结构 气敏单元 气敏信号 灵敏度 相容性 自供能 成膜 可控 匹配 协同 应用 | ||
【主权项】：
1.一种自供能气体传感器，其特征在于，其结构由下至上依次层叠的包括：多孔基片、第一银纳米线薄膜、P型多孔导电聚合物、多孔热释电薄膜、N型多孔导电聚合物和第二银纳米线薄膜；所述多孔热释电薄膜的材料为聚偏二氟乙烯或者偏二氟乙烯‑三氟乙烯共聚物。
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