[发明专利]涂覆基板的方法以及涂覆系统有效
| 申请号： | 201710492256.2 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107544211B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 达伦·索斯沃斯;奥马尔·法赫尔 | 申请（专利权）人： | 苏斯微技术光刻有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;洪欣 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用涂覆材料，具体用涂料或光刻胶，涂覆基板(12)的方法，其中所述方法中提供所述基板(12)。将所述涂覆材料施加到基板(12)的上侧(22)。产生气流，所述气流从基板(12)的下侧(18)引导到基板(12)的上侧(22)，其中气流防止在基板(12)的上侧(22)的边缘(26)形成涂覆材料的珠粒或通过气流去除先前存在的珠粒。此外，还描述了涂覆系统(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 涂覆基板 方法 以及 系统 | ||
【主权项】：
用涂覆材料，尤其是涂料或光刻胶，涂覆基板(12)的方法，所述方法具有以下步骤：a)提供基板(12)，b)将所述涂覆材料附着到基板(12)的上侧(22)，和c)产生气流，所述气流从基板(12)的下侧(18)被引导到基板(12)的上侧(22)，其中所述气流防止在基板(12)的上侧(22)的边缘(26)形成涂覆材料的珠粒或通过所述气流去除先前存在的珠粒。
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