[发明专利]电阻式随机存取存储器有效
申请号: | 201710492518.5 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN107591479B | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 陈达 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 郭晓宇;汤在彦 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种电阻式随机存取存储器,包括:一底电极;多个存储器堆叠,分别形成于底电极上;一第三氧气扩散阻隔层,形成于这些存储器堆叠之间;以及一顶电极,形成于这些存储器堆叠和第三氧气扩散阻隔层上。其中,每一个这些存储器堆叠包括:一电阻转换层,形成于底电极上;一第一氧气扩散阻隔层,形成于电阻转换层上;一导电氧气储存层,形成于第一氧气扩散阻隔层上;以及一第二氧气扩散阻隔层,形成于导电氧气储存层上。 | ||
搜索关键词: | 电阻 随机存取存储器 | ||
【主权项】:
一种电阻式随机存取存储器,其特征在于,包括:一底电极;多个存储器堆叠,分别形成于该底电极上,其中每一个该些存储器堆叠包括:一电阻转换层,形成于该底电极上;一第一氧气扩散阻隔层,形成于该电阻转换层上;一导电氧气储存层,形成于该第一氧气扩散阻隔层上;以及一第二氧气扩散阻隔层,形成于该导电氧气储存层上;一第三氧气扩散阻隔层,形成于该些存储器堆叠之间;以及一顶电极,形成于该些存储器堆叠和该第三氧气扩散阻隔层上。
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