[发明专利]晶圆刷洗装置

摘要

本发明公开了一种晶圆刷洗装置，包括滚刷轴、滚刷、进水端和驱动端；滚刷轴中空，轴壁上有一段设有若干小孔，滚刷套设于滚刷轴上设有小孔的一段并覆盖所有小孔；进水端连接于滚刷轴的第一端，驱动端连接于滚刷轴的第二端；进水端支撑于前侧板上，驱动端支撑于后侧板上，前侧板底端通过连接杆与后侧板连接；进水端包括中空的进水端主轴，进水端主轴第一端连接至进水管接头，第二端与滚刷轴卡接；驱动端包括驱动端主轴，驱动端主轴第一端与滚刷轴之间通过锁紧机构连接，第二端连接至电机。本发明的滚刷轴通过一端卡接，一端锁紧的连接方式，使滚刷轴的连接刚性得到较大提升，避免高速旋转时产生轴向窜动，达到更好的晶圆刷洗效果。

主权项

1.晶圆刷洗装置，其特征在于，包括滚刷轴、滚刷、进水端和驱动端；所述滚刷轴中空，轴壁上有一段设有若干小孔，所述滚刷套设于所述滚刷轴上设有所述小孔的一段并覆盖所有小孔；所述进水端连接于所述滚刷轴的第一端，所述驱动端连接于所述滚刷轴的第二端；所述进水端通过轴承支撑于前侧板上，所述驱动端通过轴承支撑于后侧板上，所述前侧板底端通过连接杆与所述后侧板连接；所述进水端包括中空的进水端主轴，所述进水端主轴第一端连接至进水管接头，第二端与所述滚刷轴卡接；所述驱动端包括驱动端主轴，所述驱动端主轴第一端与所述滚刷轴之间通过锁紧机构连接，第二端连接至电机；所述锁紧机构包括定心卡套和锁紧螺母，所述定心卡套具有圆柱形内表面；所述驱动端主轴第一端的端部设有矩形卡口，所述驱动端主轴上远离所述滚刷轴的部分加工有一段螺纹，所述驱动端主轴上毗邻所述滚刷轴部分的外表面为圆柱面，所述圆柱面与所述定心卡套的圆柱形内表面间隙配合；所述滚刷轴第二端前后为矩形面；所述滚刷轴第二端的矩形面插于所述驱动端主轴的矩形卡口内；所述锁紧螺母安装于所述驱动端主轴的螺纹上并紧贴所述定心卡套，通过拧紧所述锁紧螺母将所述定心卡套推至与所述滚刷轴紧密接触，从而锁紧所述滚刷轴。