[发明专利]一种P型磷化铟单晶制备配方及制备方法有效
| 申请号： | 201710497934.4 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107313110B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 关活明 | 申请（专利权）人： | 台山市华兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/02 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 蒋欢妹;莫瑶江 |
| 地址： | 529200 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种P型磷化铟单晶制备配方及制备方法，原料组成为：InP多晶料、单质锌、三氧化二硼和红磷；按生成100克P型磷化铟单晶计，InP多晶料为99.5克，单质锌为0.2‑0.8克，三氧化二硼的质量不少于32克，所述红磷的量根据理想气体状态方程计算，其中压力控制在2.7‑3.5兆帕，温度控制在1062‑1100℃，本发明通过严格控制化学配比，同时建立良好的热场，使熔体内径向温度梯度和纵向温度梯度更加合理，生长出残余应力小、位错密度低、电学参数均匀的高质量P型磷化铟晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 铟单晶 制备 配方 方法 | ||
【主权项】：
一种P型磷化铟单晶制备配方，其特征在于，所述原料组成为：InP多晶料、单质锌、三氧化二硼和红磷；按生成100克P型磷化铟单晶计，InP多晶料为99.5克，单质锌为0.2‑0.8克，三氧化二硼的质量不少于32克，所述红磷的量根据理想气体状态方程计算，其中压力控制在2.7‑3.5兆帕，温度控制在1062‑1100℃，所述InP多晶料经去离子水多次煮沸清洗；所述三氧化二硼为高纯脱水三氧化二硼，脱水后的三氧化二硼含水量在500ppm量级；所述红磷达到6N纯净度；所述锌达到6N纯净度。
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