[发明专利]调节排气流路的尺寸的等离子处理装置有效
| 申请号： | 201710502509.X | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107546098B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 郑相坤;金亨源;丘璜燮;金铉济;郑熙锡 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;严星铁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种调节排气流路的尺寸的等离子处理装置。本发明的调节排气流路的尺寸的等离子处理装置包括：腔室；卡盘，其设置于所述腔室内部，以放置基板；排气泵，其连接于所述腔室，以吸入存在于所述腔室内部的工程气体；排气流路，其形成于所述腔室与所述卡盘之间，以使工程气体向所述排气泵方向流动；以及排气流路调节部，其设置于所述腔室内部，以使所述排气流路的尺寸能够变化。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 气流 尺寸 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种调节排气流路的尺寸的等离子处理装置，其特征在于，包括：腔室，其包括位于上部的第一腔室和从所述第一腔室向下扩展而形成的第二腔室；卡盘，其设置于所述腔室内部，以放置基板；排气泵，其连接于所述第二腔室一侧，以吸入存在于所述腔室内部的工程气体；排气流路，其形成于所述腔室与所述卡盘之间，以使工程气体向所述排气泵方向流动；以及排气流路调节部，其设置于所述腔室内部，以使所述排气流路的尺寸能够变化，在所述第一腔室和第二腔室内部空间升降而调节所述排气流路的尺寸，所述排气流路调节部包括：上端位于所述第一腔室内部且形成为中空的圆柱形状的环形部、在所述环形部的外周面上向所述环形部的外侧方向延伸而形成且位于所述第二腔室内部的延伸部、以及与所述延伸部连接而伸缩的升降部，所述环形部与所述第一腔室接触，所述环形部与所述升降部连动而升降来调节所述排气流路的尺寸，且所述环形部始终位于高于所述卡盘的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉佳蓝科技股份有限公司，未经吉佳蓝科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710502509.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：苯酐生产装置
- 下一篇：氙灯准分子紫外光氧化真空设备及其使用方法
