[发明专利]高频电极以及包含其的马赫增德尔电光调制器在审
申请号: | 201710504887.1 | 申请日: | 2017-06-27 |
公开(公告)号: | CN109143719A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 刘亚东;储涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02F1/21 | 分类号: | G02F1/21;G02F1/225 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种马赫‑增德尔电光调制器高频电极及马赫增德尔电光调制器。其中,高频电极包括:带通滤波器,设置于马赫增德尔干涉仪的至少一个内臂;调制电极,与所述带通滤波器设置于马赫增德尔干涉仪的相同内臂,且位于带通滤波器的后端。本发明只利用一层金属便实现一种新型的电光调制器电极结构,能降低调制器的驱动电压降低功耗,又能提高调制器的电光带宽,提升调制速率。 | ||
搜索关键词: | 电光调制器 带通滤波器 高频电极 调制器 内臂 电极结构 调制电极 降低功耗 驱动电压 电光 干涉 调制 带宽 金属 | ||
【主权项】:
1.一种马赫‑增德尔电光调制器高频电极,其特征在于,包括:带通滤波器,设置于马赫增德尔干涉仪的至少一个内臂;调制电极,与所述带通滤波器设置于马赫增德尔干涉仪的相同内臂,且位于带通滤波器的后端。
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