[发明专利]用于高速图像获取的基于中介层的成像传感器及检验系统

摘要

本发明涉及用于高速图像获取的基于中介层的成像传感器及检验系统。更具体的，本发明包含：中介层，其安置于衬底的表面上；光感测阵列传感器，其安置于中介层上，光感测阵列传感器经背部薄化且经配置用于背部照明，光感测阵列传感器包含像素列；一个或多个放大电路元件，其经配置以放大光感测阵列传感器的输出，放大电路操作地连接到中介层；一个或多个模/数转换电路元件，其经配置以将光感测阵列传感器的输出转换为数字信号，ADC电路元件操作地连接到中介层；一个或多个驱动器电路元件，其经配置以驱动阵列传感器的时钟或控制信号，中介层经配置以电耦合光感测阵列传感器、放大电路、转换电路、驱动器电路或一个或多个额外电路中的至少两者。

主权项

1.一种基于中介层的图像感测装置，其包括：至少一个中介层，其安置于衬底的表面上；至少一个光感测阵列传感器，其安置于所述至少一个中介层上，所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化，所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明，所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列，所述至少一个中介层位于所述衬底和所述至少一个光感测阵列传感器之间；至少一个模/数转换电路元件，其经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号，所述至少一个模/数转换电路制作于所述中介层上；以及至少一个多路复用器，其操作地连接到所述中介层且经配置以结合来自所述至少一个模/数转换电路的所述一个或多个数字信号，所述中介层经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器与所述至少一个模/数转换电路进行电耦合。