[发明专利]材料性能测试装置及制作方法

摘要

本发明公开了一种材料性能测试装置，该装置包括：基板、金属栅极；辅助层，设置于金属栅极上，金属栅极位于基板与辅助层之间；功能层，设置在基板上，功能层在形成过程中，有机光阻至少有一段时间附着在辅助层上，功能层供以配合发光器件检测材料性能。本发明还提供一种材料性能测试装置的制作方法。通过上述方式，本发明在辅助层上沉淀的有机光阻膜均匀，使得在曝光显影后得到理想的功能层，进而保证材料性能测试装置的测试效果。

主权项

1.一种材料性能测试装置，用于测试材料的性能，其特征在于，包括：基板；金属栅极，设置于所述基板一侧；辅助层，设置于所述金属栅极背对所述基板一侧；功能层，包括有机光阻材料，设置在所述基板的具有所述金属栅极的一侧，所述功能层在形成过程中，所述有机光阻至少有一段时间附着在所述辅助层上，且有机光阻在辅助层上的附着力较在金属栅极上更强，所述功能层用于配合发光器件检测材料的性能；阳极层、被测材料层、发光材料层及阴极层，其中所述阳极层与所述金属栅极电连接，所述被测材料层位于所述阳极层和所述阴极层之间，并与所述阳极层和所述阴极层之间构成空腔，供以设置发光材料层，所述发光材料层容置在所述空腔中并与所述被测材料层抵接。