[发明专利]一种外延层剥离装置及剥离方法

摘要

本发明公开了一种外延层剥离装置及剥离方法，用于依次包含有衬底、牺牲层、外延层和支撑层的待剥离件的外延层剥离，该外延层剥离装置包括上端开口的盒体，盒体底部设置有弹性缓冲结构；待剥离件放置于弹性缓冲结构上方时，待剥离件的支撑层边沿位于盒体侧壁上，使得待剥离件的支撑层与衬底之间具有一定张角。刻蚀初期，弹性缓冲结构被压缩而缓慢下移，在支撑层自身的应力和外延层剥离装置对待剥离件的支撑力的共同作用下，使得外延层与衬底的张角逐渐变大，增大了腐蚀液和牺牲层界面间形成的腐蚀通道，有利于腐蚀液快速进入及反应副产物的输出，从而提高了刻蚀初期的外延层剥离速率。

主权项

一种外延层剥离装置，用于依次包含有衬底、牺牲层、外延层和支撑层的待剥离件的外延层剥离，其特征在于，所述装置包括上端开口的盒体，所述盒体底部设置有弹性缓冲结构；所述待剥离件放置于所述弹性缓冲结构上方时，所述待剥离件的所述支撑层边沿位于所述盒体侧壁上。