[发明专利]抗菌耐磨非晶碳涂层及其制备方法、抗菌耐磨器件

摘要

本发明涉及离子束材料表面改性技术领域，具体涉及抗菌耐磨非晶碳涂层及其制备方法、抗菌耐磨器件，所述抗菌耐磨非晶碳涂层的制备方法，包括以下步骤：(1)对基底进行等离子体清洗，得到基底A1；(2)涂层沉积：向沉积室中通入碳源气体和惰性气体，开启偏压电源，以银硅复合靶T为靶材，在基底A1上溅射沉积银硅共掺杂类石墨非晶碳涂层C1，本发明通过银和硅对类石墨非晶碳涂层进行改性，硅的掺入使类石墨非晶碳涂层的润滑性能和耐磨损性能显著提升，银的掺入显著提高了类石墨非晶碳涂层材料的抗菌性能，而且银的释放速度慢，抗菌效果持续时间长，且具有良好的生物相容性，在日常生活以及医用等领域有较好的应用前景。

主权项

一种抗菌耐磨非晶碳涂层，其特征在于，包括银硅共掺杂类石墨非晶碳涂层C1，所述银硅共掺杂类石墨非晶碳涂层C1包括以下元素：碳、氧、硅和银；优选的，所述涂层C1中各元素的原子百分含量为：碳75～80at.％，氧10～15at.％，硅3～8at.％，银2～7at.％；优选的，所述涂层C1的拉曼光谱的特征峰为：G峰位于1500～1600cm‑1之间，D峰位于1300～1380cm‑1之间，D峰与G峰强度比为1：(1～3)；更优选的，所述涂层C1的厚度为1～3μm。