[发明专利]含有胺化合物的铟电镀组合物和铟电镀方法有效
申请号: | 201710511262.8 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN107630237B | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | Y·秦;K·弗拉伊斯里克;M·列斐伏尔 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C25D3/54 | 分类号: | C25D3/54 |
代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种铟电镀组合物,其含有痕量的胺化合物以电镀基本上无缺陷的均匀铟,所述铟具有光滑表面形态。铟电镀组合物可以用于在各种衬底(如半导体晶片)的金属层上电镀铟金属以及用作热界面材料。 | ||
搜索关键词: | 含有 化合物 电镀 组合 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在镍上电镀铟的方法,其包含:/na)提供包含镍层的衬底;/nb)使所述衬底与铟电镀组合物接触,所述组合物包含一或多种铟离子源、柠檬酸、其盐或其混合物和含量为5ppm到15ppm的具有下式的一或多种胺化合物:/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料有限责任公司,未经罗门哈斯电子材料有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710511262.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。