[发明专利]铟电镀组合物和用于电镀铟的方法有效
| 申请号： | 201710512994.9 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107630238B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | Y·秦;K·弗拉伊斯里克;M·列斐伏尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D3/54 | 分类号： | C25D3/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 铟电镀组合物电镀在金属层上具有平滑表面形态的基本上无缺陷的均一层。所述铟电镀组合物可以用于在如半导体晶片的各种衬底的金属层上电镀铟金属和用作热界面材料。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 组合 用于 方法 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其包含一种或多种铟离子源、硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种以及柠檬酸、其盐或其混合物，其中，所述硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种选自甲脒硫脲、1‑烯丙基‑2‑硫脲和四甲基‑2‑硫脲。
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