[发明专利]减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板

摘要

本发明涉及减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板。衬底处理系统包括处理室和喷头，喷头包括面板、杆部和圆柱形基部。轴环将喷头连接到处理室的顶表面。轴环限定接收二次吹扫气体的气体通道和沿着径向向外且向下的方向引导来自气体通道的二次吹扫气体的多个气体缝隙。锥形表面被布置成邻近圆柱形基部并且围绕喷头的杆部。倒锥形表面邻近处理室的顶表面和侧壁设置。锥形表面和倒锥形表面限定成角度的气体通道，成角度的气体通道从多个气体缝隙到限定在圆柱形基部的径向外部与处理室的侧壁之间的间隙。

主权项

一种衬底处理系统，其包括：处理室；喷头，其包括面板、杆部和圆柱形基部；轴环，其将所述喷头连接到所述处理室的顶表面，其中所述轴环限定接收二次吹扫气体的气体通道和沿着径向向外且向下的方向引导来自所述气体通道的所述二次吹扫气体的多个气体缝隙；锥形表面，其被布置成邻近所述圆柱形基部并围绕所述喷头的所述杆部；以及倒锥形表面，其与所述处理室的顶表面和侧壁相邻布置，其中所述锥形表面和所述倒锥形表面限定成角度的气体通道，所述成角度的气体通道从所述多个气体缝隙到在所述圆柱形基部的径向外部部分和所述处理室的所述侧壁之间限定的间隙。