[发明专利]微机械结构和用于制造微机械结构的方法有效
| 申请号： | 201710514304.3 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107539942B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | G.德尼夫尔;T.弗里施穆特;T.格里勒;U.黑德尼希;M.卡恩;D.毛雷尔;U.施密德;M.施奈德 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机械结构和用于制造微机械结构的方法。根据各种实施例的微机械结构可包括：衬底；和功能结构，布置在衬底处；其中所述功能结构包括功能区域，所述功能区域可响应于作用于功能区域的力而相对于衬底偏转；以及其中功能区域的至少一部分具有处于从大约5 GPa到大约70 GPa的范围中的弹性模量。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械结构，包括：衬底；和功能结构，布置在衬底处；其中所述功能结构包括功能区域，所述功能区域可响应于作用于功能区域的力而相对于衬底偏转；以及其中功能区域的至少一部分具有处于从大约5 GPa到大约70 GPa的范围中的弹性模量。
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