[发明专利]一种单片集成声表面波时延组件

摘要

本发明涉及一种单片集成声表面波时延组件，包括压电基片，压电基片上组成多个时延单元的输入叉指换能器和多个输出叉指换能器,用于选通时延单元的多个金属梁及其固定电极、控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入线、下拉信号输入电极以及输出信号总电极和输出接地总电极，所述多个输出叉指换能器位于输入叉指换能器的一侧且分别与输入叉指换能器保持不同的距离。本发明采用片上集成的时延单元选通互连结构，并采用动态特性与静态特性俱优的微机械式开关作为开关元件，具有结构紧凑、射频损耗小，抗干扰能力强等优点。

主权项

一种单片集成声表面波时延组件，其特征在于：包括压电基片（1），制作于压电基片（1）上的输入叉指换能器（2）和若干个输出叉指换能器（3）, 所述若干个输出叉指换能器（3）位于输入叉指换能器（2）的一侧且分别与输入叉指换能器（2）保持不同的距离,所述输入叉指换能器（2）与相距不同的各个输出叉指换能器（3）分别构成不同的时延单元；所述输入叉指换能器（2）包括输入信号端汇流电极（21）、输入接地端汇流电极（22）、其一端汇集于输入信号端汇流电极（21）的第一金属指电极组、其一端汇集于输入接地端汇流电极（22）的第二金属指电极组，第一金属指电极组包括若干第一金属指电极（23），第二金属指电极组包括若干第二金属指电极（24），第一金属指电极组的各个第一金属指电极（23）与第二金属指电极组的各个第二金属指电极（24）相向交叉排列，所述输出叉指换能器（3）包括输出信号端汇流电极（31）、输出接地端汇流电极（32）、其一端汇集于输出信号端汇流电极（31）的第三金属指电极组、一端汇集于输出接地端汇流电极（32）的第四金属指电极组，第三金属指电极组包括若干第三金属指电极（33），第四金属指电极组包括若干第四金属指电极（34），第三金属指电极组的各个第三金属指电极（33）与第四金属指电极组的各个第四金属指电极（34）相向交叉排列；所述各个输出叉指换能器（3）的输出信号端汇流电极（31）的外侧从内向外依次为金属梁内侧固定电极（61）、输出信号总电极（4）、金属梁外侧固定电极（62），所述金属梁内侧固定电极（61）、金属梁外侧固定电极（62）为各个输出叉指换能器（3）的独立电极，所述输出信号总电极（4）为若干个输出叉指换能器（3）的共用电极；所述各个输出叉指换能器（3）的输出接地端汇流电极（32）的外侧为输出接地总电极（5），所述输出接地总电极（5）为各个输出叉指换能器（3）的共用电极，各个输出叉指换能器（3）的输出接地端汇流电极（32）与输出接地总电极（5）相连；所述各组金属梁内侧固定电极（61）和金属梁外侧固定电极（62）上分别制作有金属梁（6），所述金属梁（6）横跨作为其底电极的输出信号总电极（4），各个金属梁内侧固定电极（61）分别与对应的输出叉指换能器（3）的输出信号端汇流电极（31）相连；所述输出信号总电极（4）与各个金属梁（6）的交叠区的正下方分别制作有金属梁下拉电极（63），所述各个金属梁下拉电极（63）的外侧分别制作有与其相连的金属梁下拉电平输入线（64）；所述各个金属梁下拉电极（63）及对应的金属梁下拉电平输入线（64）与输出信号总电极（4）及对应的金属梁外侧固定电极（62）之间分别制作有绝缘介质隔离层（7），即在金属梁（6）与输出信号总电极（4）的交叠处从上到下依次为金属梁（6）、输出信号总电极（4）、绝缘介质隔离层（7）、金属梁下拉电极（63）；所述压电基片（1）的一端制作有金属梁下拉电平输入端口（8），金属梁下拉电平输入端口（8）包括若干个金属梁下拉电平输入电极（65），各个金属梁下拉电平输入电极（65）通过对应的金属梁下拉电平输入线（64）与对应的金属梁下拉电极（63）相连；所述输入叉指换能器（2）的输入信号端汇流电极（21）和输入接地端汇流电极（22）组成时延组件的高频信号输入端口，所述输出信号总电极（4）和输出接地总电极（5）组成时延组件的高频信号输出端口。