[发明专利]传感器的减振在审
| 申请号： | 201710522747.7 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107560648A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | M.豪博尔德 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/10 | 分类号： | G01D11/10;G01L9/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 周学斌,杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器的减振。设备（100）包括基板（105）、弹簧结构（130）和第一传感器（110）。第一传感器（110）经由弹簧结构（130）与基板（105）回弹性耦合。弹簧结构（130）被配置为提供第一传感器（110）关于基板（105）的减振。设备（100）还包括第二传感器（120），所述第二传感器（120）被配置为感测弹簧结构（130）的挠度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
一种设备（100），包括：‑ 基板（105），‑ 弹簧结构（130），‑ 第一传感器（110），其经由弹簧结构（130）与基板（105）回弹性耦合，所述弹簧结构（130）被配置为提供第一传感器（110）关于基板（105）的减振，以及‑ 第二传感器（120），其被配置为感测弹簧结构（130）的挠度。
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