[发明专利]背板衬底、其制造方法以及使用其的有机发光显示装置

摘要

公开了一种背板衬底、其制造方法以及使用其的有机发光显示装置。该背板衬底被设计为获得甚至在超高分辨率结构的较小像素中也实现足够灰度的电路特性。在该背板衬底中，驱动薄膜晶体管具有与其它薄膜晶体管的堆叠结构不同的堆叠结构，使得仅驱动薄膜晶体管的S因子增大，其中S因子是从薄膜晶体管导通的时间到漏极电流饱和的时间的漏极电流的梯度的倒数。

主权项

一种背板衬底，包括：具有多个子像素的衬底；驱动薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管位于每个子像素中，所述驱动薄膜晶体管包括第一栅电极、由多晶硅形成的第一有源层、连接至所述第一有源层的第一沟道的相对侧的第一源电极和第一漏电极、以及在所述第一有源层与所述第一栅电极之间的第一栅绝缘层；以及开关薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管位于每个子像素中以连接至所述驱动薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管包括第二栅电极、由多晶硅形成的第二有源层、连接至所述第二有源层的第二沟道的相对侧的第二源电极和第二漏电极、以及在所述第二有源层与所述第二栅电极之间的第二栅绝缘层，其中，所述第一有源层和所述第二有源层位于同一层中，其中，所述第一栅电极和所述第二栅电极位于不同的层中，并且其中，所述第一栅电极与所述第一有源层之间的第一距离比所述第二栅电极与所述第二有源层之间的第二距离长。