[发明专利]一种反力外引机构、电机装置以及光刻机在审
| 申请号： | 201710524606.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109212909A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王保亮;杨辅强;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反力外引机构、电机装置以及光刻机，该光刻机包括照明单元、掩模台、投影物镜、主基板、工件台和地基，所述照明单元和掩模台设于所述主基板上，所述地基上方设有主吊框，所述工件台和主基板设于所述主吊框上，所述主吊框和地基之间设有减振器，所述工件台的其中一侧与所述地基之间以及所述掩模台的其中一侧与所述地基之间分别设有反力外引机构。通过在工件台和掩模台的其中一侧设置反力外引机构，将该两个运动台运动方向的反力引到地基上，而不将地基的振动传到运动台上，减少了反力造成整机振动；大大降低了整机框架及运动台系统的设计制造难度，提高了运动台的控制精度，有效降低了减振器的需求，降低了开发难度以及开发成本。 | ||
| 搜索关键词： | 地基 反力 工件台 掩模台 光刻机 运动台 主基板 主吊 电机装置 照明单元 减振器 设计制造难度 投影物镜 整机框架 整机振动 开发 | ||
【主权项】：
1.一种反力外引机构，其特征在于，包括依次连接的反力外引支架、反力衰减单元和震动源转接单元，所述震动源转接单元与一震动源相连，所述反力外引支架与地基相连，所述反力外引机构用于将所述震动源的震动力削减。
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