[发明专利]一种软性薄膜压力传感器在审
| 申请号： | 201710528899.8 | 申请日： | 2017-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN107340082A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 熊作平;张珽;谷文;井华;王冉 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215123 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力传感器的设计，具体为一种软性薄膜压力传感器可通过新型纳米压敏材料的电阻率变化及两压敏层接触面积改变的协同作用来进一步提高传感器灵敏度，再辅以合适杨氏模量的超薄薄膜衬底从而解决了迟滞效应、测试重复性差异的问题，包括第一软性衬底、第一电极层、第一压敏层、支撑层、第二软性衬底、第二电极层和第二压敏层，所述第一压敏层、第一电极层和第一软性衬底依次连接，所述第二压敏层、第二电极层和第二软性衬底依次连接；还包括支撑层，所述支撑层位于第一软性衬底和第二软性衬底之间且将第一压敏层和第二压敏层固定，所述第一压敏层和第二压敏层之间存在间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 软性 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种软性薄膜压力传感器，其特征在于：包括第一软性衬底(1)、第一电极层(2)、第一压敏层(3)、支撑层(4)、第二软性衬底(5)、第二电极层(6)和第二压敏层(7)，所述第一压敏层(3)、第一电极层(2)和第一软性衬底(1)依次连接，所述第二压敏层(7)、第二电极层(6)和第二软性衬底(5)依次连接；还包括支撑层(4)，所述支撑层(4)位于第一软性衬底(1)和第二软性衬底(5)之间且将第一压敏层(3)和第二压敏层(7)固定，所述第一压敏层(3)和第二压敏层(7)之间存在间隙。
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