[发明专利]半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备有效
申请号: | 201710530250.X | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN107887441B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 朱慧珑;王桂磊;亨利·H·阿达姆松;张严波;朱正勇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/10;H01L21/336 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开了一种半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备。根据实施例,半导体器件可以包括:衬底;依次叠置在衬底上的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层,其中,沟道层包括与Si材料相比具有增大开态电流和/或减小关态电流的半导体材料;以及绕沟道层的外周形成的栅堆叠。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 包括 器件 电子设备 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:衬底;依次叠置在衬底上的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层,其中,沟道层包括与Si材料相比具有增大开态电流和/或减小关态电流的半导体材料;以及绕沟道层的外周形成的栅堆叠。
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