[发明专利]一种二氧化锡复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201710533515.1 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN107298583B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 杜勇;王广欣;崔立虎 | 申请（专利权）人： | 中科院微电子研究所昆山分所 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种二氧化锡复合涂层及其制备方法，所述二氧化锡复合涂层的制备方法包括以下步骤：a)将二氧化锡和石墨烯混合，依次进行等静压成型和烧结，得到石墨烯/SnO | ||
| 搜索关键词： | 二氧化锡 复合涂层 石墨烯 制备 复合陶瓷 厚度均匀 掺杂率 靶材 等静压成型 参数条件 掺杂改性 磁控溅射 气敏材料 制备工艺 重要意义 烧结 掺杂的 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化锡复合涂层的制备方法，包括以下步骤：/na)将二氧化锡和石墨烯混合，依次进行等静压成型和烧结，得到石墨烯/SnO
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