[发明专利]用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用有效
| 申请号： | 201710533744.3 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN107227449B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 井治;刘锐;葛治亮;张超群;王程;王贝;邓君 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 张新鑫;许亦琳 |
| 地址： | 200063 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材；其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个隔离腔室内的下部都设置传输单元，所述传输单元贯通所有隔离腔室；第一隔离腔室以及第三隔离腔室内设置气体隔离单元；第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。本发明使用更加便捷，气体隔离装置隔离性能好，隔离系数高，结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 镀膜 玻璃 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材；其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个所述隔离腔室的内部的下部都设置传输单元，所述传输单元贯通所有隔离腔室；所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室内设置气体隔离单元；所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。
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