[发明专利]一种掩膜板及蒸镀设备

摘要

本发明涉及成膜技术领域，公开了一种掩膜板及蒸镀设备。所述掩膜板包括图形区域，所述图形区域设置有镂空图形，在掩膜板的除镂空图形之外的区域设置膜厚测试片，在蒸镀制程中，膜厚测试片上会沉积蒸镀材料，通过检测所述膜厚测试片上薄膜的膜厚，可以获取掩膜板上薄膜的膜厚，从而当薄膜的膜厚达到一定的厚度时，能够及时更换掩膜板，避免出现薄膜剥离污染设备的问题。

主权项

1.一种蒸镀设备，包括用于放置掩膜板的存储腔，所述掩膜板包括板体，所述板体包括图形区域和位于所述图形区域外围的周边区域，所述图形区域设置有镂空图形，其特征在于，/n所述掩膜板还包括膜厚测试片，所述膜厚测试片对应所述板体的除所述镂空图形之外的区域设置；/n所述蒸镀设备还包括：/n膜厚检测单元，用于测量所述掩膜板的膜厚测试片上的第一薄膜的膜厚；/n所述膜厚测试片上的第一薄膜的材料为金属，所述膜厚测试片的材料为绝缘材料；/n所述膜厚检测单元包括：/n固定在承载部上的第一驱动机构；/n固定在所述第一驱动机构的输出端的方块电阻测试仪，所述方块电阻测试仪包括计算单元、本体和设置在所述本体上的至少一个探针，所述第一驱动机构用于驱动所述探针插入所述第一薄膜中；所述计算单元与所述探针连接，当所述探针插入所述第一薄膜中时，所述计算单元计算所述第一薄膜的方块电阻；/n压力传感器，用于获取所述驱动机构施加在所述方块电阻测试仪上的压力；/n控制单元，与所述第一驱动机构和压力传感器连接，用于控制所述第一驱动机构驱动所述探针插入所述第一薄膜中，直至施加在所述方块电阻测试仪上的压力为预设压力；所述控制单元还与所述计算单元连接，用于根据所述第一薄膜的方块电阻确定所述第一薄膜的厚度；/n或者，所述膜厚检测单元包括：/n固定在承载部上的电磁铁；/n固定在所述承载部上的杠杆结构，所述杠杆结构包括杠杆，所述杠杆的一端固定有具有预设重量的砝码，另一端固定有方块电阻测试仪，所述方块电阻测试仪包括计算单元、本体和设置在所述本体上的至少一个探针，所述计算单元与所述探针连接，当所述探针插入所述第一薄膜中时，所述计算单元计算所述第一薄膜的方块电阻；/n控制单元，与所述电磁铁连接，用于控制所述电磁铁吸合所述砝码，当所述电磁铁不吸合所述砝码时，在所述砝码的重力作用下，所述杠杆的所述另一端抬起，使得所述探针插入所述第一薄膜中；所述控制单元还与所述计算单元连接，用于根据所述第一薄膜的方块电阻确定所述第一薄膜的厚度。/n