[发明专利]一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法有效
| 申请号： | 201710542559.0 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107257082B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 方瑞禹;郝润豹;丁凯文 | 申请（专利权）人： | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/22;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法，用以降低脊波导激光器电极接触窗口制作成本，该方法包括：对晶元上沉积的波导层进行刻蚀，形成脊波导结构以及脊波导结构两侧的结构；在脊波导结构和脊波导结构两侧的结构表面沉积电介质层；在电介质层的表面涂覆光刻胶；利用掩膜板对光刻胶进行光刻，将电介质层表面上覆盖脊波导结构的光刻胶去除；对电介质层表面未去除的光刻胶进行热处理，令未去除的光刻胶在发生形变；以光刻胶为掩膜对电介质层进行刻蚀，将覆盖在脊波导结构表面的电介质去除，形成电极接触窗口，使得利用低精度的光刻设备便能完成脊波导激光器电极接触窗口的制作，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 激光器 电极 接触 窗口 制作方法 | ||
【主权项】：
一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法，其特征在于，包括：对晶元上沉积的波导层进行刻蚀，形成脊波导结构以及所述脊波导结构两侧的结构；在所述脊波导结构和所述脊波导结构两侧的结构表面沉积电介质层；在所述电介质层的表面涂覆光刻胶；利用掩膜板对所述光刻胶进行光刻，将所述电介质层表面上覆盖所述脊波导结构的光刻胶去除；对所述电介质层表面未去除的光刻胶进行热处理，令所述未去除的光刻胶在发生形变；以所述光刻胶为掩膜对所述电介质层进行刻蚀，将覆盖在所述脊波导结构表面的电介质去除，形成电极接触窗口。
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